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一、项目基本信息
1、项目编号：****点击查看
2、项目名称：科研用光刻机激光器腔体及过滤器采购项目
3、采购方式：定向采购
4、项目需求：准分子激光腔体1套，准分子激光氟气过滤器3套，详见附件。
二、申请理由及依据
1、申请理由：我校前期采购的步进式光刻机（原厂：佳能株式会社）需要更换光源部件“准分子激光器”的耗材和备件，以确保设备的稳定运行、光刻工艺的高精度和氟气排放的安全性。本项目拟采购准分子激光腔体1套和准分子激光氟气过滤器3套。
经过调研和专家论证，该光刻机本体中搭载的准分子激光器品牌为GIGA，若使用其他品牌的耗材，将无法确认能否达到规格性能要求。为了确保准分子激光器及光刻机的安全性和稳定性，并满足用户在微纳加工光刻工艺方面的科研需求，必须采购GIGA原厂配套的腔体和过滤器等耗材。由于GIGA原厂不参与本项目的采购活动，也无第三方代理，因此我校目前无法直接从GIGA公司进行采购。目前，只有****点击查看株式会社能够提供来源合法合规的准分子激光腔体和氟气过滤器。
综上所述，本项目拟采用定向采购方式，向****点击查看****点击查看株式会社****点击查看公司），采购准分子激光腔体和准分子激光氟气过滤器。
2、申请依据：本项目符合《****点击查看（**）采购管理制度》第5章定向采购使用范围中第1点“货物或服务只能由唯一供应商提供”情形。
三、拟定供应商
1、供应商名称：****点击查看；地址：中国（**）自由贸易试验区奥纳路55号二层209部位
四、公示期限
自本公告发布之日3个工作日
五、采购人联系方式
联系人：黄老师
联系电话：020-****点击查看1533
联系邮箱：carinajlh@hkust-gz.****点击查看.cn
****点击查看（**）采购处
2025年06月16日
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