聚焦离子束-电子束双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统

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拟采购聚焦离子束-电子束双束电镜-飞行时间二次离子质谱联用系统1套，用于锂离子电池电极材料等样品的微纳米尺度高分辨成像、定点切割、刻蚀加工、截面制备及三维元素分布分析，重点满足样品内部微观结构表征和锂等轻元素高灵敏检测需求。系统应集成热场发射电子束、液态镓离子束、飞行时间二次离子质谱、能谱分析、气体注入及真空转移等功能，具备高空间分辨率、长时间稳定加工、大视野成像、多任务自动加工以及隔绝水氧条件下样品制备与转移能力，可满足空气敏感材料从制样到微观形貌、结构及元素成分分析的一体化研究需求。设备应配套完整的控制软件、工作站及必要辅助设施，质量和安全性能符合相关技术标准；合同签订后8个月内完成交付，并提供安装调试、验收、操作及高阶应用培训，整机质保期不少于1年，建立及时可靠的售后服务保障机制。