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电子束蒸发台

电子束蒸发台

预告-招标预告 上海 - 上海 - 杨浦区
发布于 2024-09-20

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复旦大学
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****点击查看2024年10月政府采购意向-电子束蒸发台 详细情况
电子束蒸发台
项目所在采购意向： ****点击查看2024年10月政府采购意向
采购单位： ****点击查看
采购项目名称： 电子束蒸发台
预算金额： 193.000000万元(人民币)
采购品目：
A****点击查看0300 电子工业生产设备
采购需求概况 ：
子束蒸发台是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等，尤其是剥离工艺（lift-off process）。 电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。本项目根据实际科研需求计划采购一台子束蒸发台。
预计采购时间： 2024-10
备注：

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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