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离子注入机 | |
项目所在采购意向: | |
采购单位: | ****点击查看 |
采购项目名称: | 离子注入机 |
预算金额: | 1910.000000万元(人民币) |
采购品目: | A****点击查看0300 电子工业生产设备 |
采购需求概况 : | 能量 :400kev(1价)、700keV(2价)、1050keV(3价);最高温度500℃;装载方式为ESC,能够搭载高温静电卡盘、常温静电卡盘两种。 |
预计采购时间: | 2024-11 |
备注: |
本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。