离子注入机

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西安电子科技大学
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****点击查看2024年11至3月政府采购意向-离子注入机 详细情况
离子注入机
项目所在采购意向: ****点击查看2024年11至3月政府采购意向
采购单位: ****点击查看
采购项目名称: 离子注入机
预算金额: 1910.000000万元(人民币)
采购品目:
A****点击查看0300 电子工业生产设备
采购需求概况 :
能量 :400kev(1价)、700keV(2价)、1050keV(3价);最高温度500℃;装载方式为ESC,能够搭载高温静电卡盘、常温静电卡盘两种。
预计采购时间: 2024-11
备注:

本次公开的****点击查看政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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