半导体参数分析系统

采购内容:半导体参数分析仪 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:项目目标是建设一套面向半导体器件、铁电材料与新型功能器件的综合电学测试平台，实现器件I-V、C-V、瞬态脉冲、漏电流、可靠性、铁电电滞回线、疲劳、保持、PUND及损耗等关键参数测试。平台建成后，可为MOSFET、FinFET、二极管、存储器、FeFET、FeRAM及铁电薄膜电容器等器件提供完整表征手段，支撑新材料、新器件和高频电子器件研发。同时服务本科与研究生实验教学，提升学生器件测试、工程实践和 需满足的要求:本项目所购设备应满足高精度、高稳定性、多功能、可扩展和便于教学使用的要求。半导体参数分析仪应具备模块化架构、嵌入式控制系统、图形化测试软件和自动参数提取功能，支持高精度I-V、C-V、瞬态、漏电流及可靠性测试。铁电分析仪应支持多种铁电性能测试模式，具备宽电压、宽频率、宽电流测试能力，并支持PUND、疲劳、保持、漏电和电滞回线分析。探针台应具备低漏电、高精度移动、稳定接触、显微观察、温控卡盘和多探针

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