蒸发镀膜系统（HITSZWJ240071）采购公告

公告-招标公告黑龙江 - 哈尔滨

发布于 2024-11-25

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哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）

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蒸发镀膜系统	****点击查看
2024-11-25 11:29:00	2024-11-28 12:00:00
**点击查看（）	预付款70%，到货验收后尾款30%

	签约后120个工作日内
￥999000.00




哈工大校区
符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

采购清单1

采购商品采购数量计量单位所属分类

蒸发镀膜系统

台

品牌型号预算单价技术参数及配置要求参考链接售后服务

**普迪

PD-700

￥ 999000.00

1.1基片台，尺寸300mm*400mm，可加热室温至300℃ 1.2真空腔室，SUS304不锈钢，内部电抛光，真空室尺寸≥L 700mm*W700mm*H700mm 1.3蒸发源，金属蒸发源≥4组，配套进口电源≥2套 1.4膜厚检测，进口膜厚仪自动镀膜，膜厚检测精度0.01埃，配备2只进口水冷探头 1.5控制方式，全PC+PLC控制，全自动或半自动操作 1.6均匀性，蒸镀基片内≤5%

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网上竞价需求（蒸发镀膜系统）.pdf

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