微纳加工平台运维保障方案半年(FS-BX-250081号)采购公告

微纳加工平台运维保障方案半年(FS-BX-250081号)采购公告

发布于 2025-09-25

招标详情

深圳医学科学院
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历史招中标信息历史招中标信息2222条

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项目名称 项目编号 公告开始日期 公告截止日期 采购单位 付款方式 联系人 联系电话 签约时间要求 到货时间要求 预算总价 发票要求 含税要求 送货要求 安装要求 收货地址 供应商资质要求 公告说明
微纳加工平台运维保障方案半年****点击查看
2025-09-25 09:24:202025-09-28 11:00:00
****点击查看1. 预付款:合同签订且乙方安排符合要求的运维团队上门服务后 15 个工作日内,甲方支付合同总价的 50%; 2. 尾款:服务期满且甲方验收合格后 15 个工作日内,甲方支付剩余 50% 合同款; 3. 付款前提:乙方需提供合法有效发票,且运维过程中无重大违约(如人员数量不达标、安全事故等)
¥490000.00

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件


采购清单1
采购商品 采购数量 计量单位 所属分类
****点击查看实验室 2025 年度厂务设施运维服务 1 其他专业技术服务
品牌 型号 预算单价 技术参数及配置要求 参考链接 售后服务
¥ 490000.00
基础信息 序号 服务名称 服务时长 服务地点 1 ****点击查看实验室 2025 年度厂务设施运维服务 半年 **市**区北圳街669****点击查看学园6号楼 1.2 核心配置要求 ****点击查看学院微纳中心运行需求,对洁净区域、普通实验室、动力机房、空调机房、纯水机房、中控室、室外氮气储罐区、特气间、屋顶冷却塔排气设备及其他功能区的设施设备设施设备提供 “日常维护 + 故障检修” 全流程保障,确保设备参数正常、各系统 24 小时稳定运行,支撑实验室科研与生产活动顺利开展。 二、运维目标 1. 稳定性保障:确保所有设施设备 24/7 满足工艺需求(温湿度、洁净度、风压、水电气等)。 2. 环境达标:洁净室洁净度等级符合设计要求,每周监测并留存数据,杜绝环境不达标风险。 3. 设备**:通过规范化预防性维护(PM)降低设备故障率,**核心设备使用寿命。 4. 快速响应:建立突发故障与报警的快速处置机制,减少故障影响时长。 5. 管理规范:完善运行记录、维护档案、备件管理制度,确保运维过程可追溯。 6. 成本可控:在 XX 万元年度总预算内高效执行运维工作,避免超支。 7. 合规验收:满足采购方 “服务期零安全事故” 首要标准,同步达成满意度与服务要求。 三、供应商资质要求 1. 主体资格:在中华人民**国境内注册、响应招标的法人、其他组织或自然人,具备独立承担民事责任的能力。 2. 政府采购合规性:符合《****点击查看政府采购法》第二十二条规定: 具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度; 具有履行合同所必需的设备和专业技术能力; 有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录; 参加政府采购活动前 3 年内,经营活动中无重大违法记录; 符合法律、行政法规规定的其他条件。 1. **限制:不允许转包、分包本项目。 2. 信用要求:近 3 年内(本项目响应截止期前),未被 “信用中国” 列入失信被执行人 / 重大税收违法案件当事人名单,未被 “中国政府采购网” 列入政府采购严重违法失信行为记录名单(处罚期未届满)。 3. 行业经验:熟悉 SEMI S2/S8 等半导体设备安全与环境规范,****点击查看实验室流程系统及设施,具备半导体洁净间运行维护经验(历史业绩证明)。投标人提供自2022年1月1日(以竣工验收报告时间为准)至投标截止之日具有单项不少于1500****点击查看实验室项目建设或运维服务经验业绩,且项目内容包含洁净或净化、装饰、通风、气体纯水、自动控制等内容。 4. 技术能力:具备 EBL、电子束蒸发、光刻、匀胶显影等设备的维护能力。 四、人员配置与职责 4.1 配置原则 总人数≥4 人(满足采购需求 “不少于 4 人” 要求),实行 “白天值班 + 夜晚待命 + 周末节假日 1 人值班” 模式,中途无特殊情况不调整人员,保障团队稳定性。 4.2 具体配置 职位 人数 主要职责 资质要求 厂务设备工程师 2 总负责:全面管理运维团队、制定/执行维护计划、预算控制、对外协调(厂商、内部部门)、应急指挥、技术决策、系统优化、人员培训监及督安全员工作,审核气体/真空系统安全规程及应急预案。 机电/暖通/自动化相关专业大专及以上学历,5****点击查看实验室运维管理经验。 系统核心:负责楼宇自控系统(BAS)、弱电系统(门禁、监控、网络、消防弱电)、恒温恒湿自控系统的运行监控、编程调试、故障诊断与维修、优化控制策略。协助负责人工作。 自动化/计算机电相关专业,熟悉主流BAS系统(如西门子、江森等),熟悉网络、安防系统。 水电维修工程师 2-3 环境保障核心:负责所有暖通空调及消防给排水设备(风冷模块机、双管制机组、冷却水系统、干盘管、循环水泵、稳压系统、排风系统)的运行监控、日常操作、巡检、基础维护保养、故障初步处理及上报。 暖通/制冷相关专业或经验,持有效操作证,熟悉恒温恒湿及精密空调系统原理。 动力保障核心:负责配电系统、动力设备(水泵、风机等)的运行监控、巡检、倒闸操作、基础维护保养、照明维护、故障初步处理及上报。 持有效高压/低压电工操作证,熟悉配电系统。 核心职责:保障气体与真空系统安全、合规、高效运行。1.系统运行监控:24小时监控气体(特气、大宗气、惰性气体等)压力、流量、供应状态(气瓶/液罐/管道)、真空度;监控气体侦测报警系统。2.日常巡检与维护:执行每日、每周、每月、年度气体/真空系统维护计划(见下表),重点进行泄漏检测(肥皂水/专业检漏仪)、管道支架检查、阀门状态确认、钢瓶/汇流排更换操作。3.安全管理:制定并执行气体/真空系统安全操作规程(SOP)和应急预案。管理气瓶/液罐存储区(通风、防倾倒、标识、安全距离),确保符合规范。负责个人防护装备(PPE)(如气体面具、防护服)的管理、检查与培训使用。进行气体安全专项培训(新员工、在岗员工、承包商)。管理安全标识(管道标识、区域警示、应急疏散)。4.应急响应:作为气体泄漏、真空故障等事故的第一响应人,执行紧急关断、疏散、初步处置并上报。5.合规管理:确保系统符合国家及地方关于压力容器、危险化学品(如适用)、特种设备的安全法规。管理气体MSDS(安全数据表)。安排并监督压力表、安全阀等强检设备的定期校验。维护系统安全档案。6.供应商协调:对接气体供应商、真空设备维保商,监督其现场操作安全。7.记录与报告:详实记录运行、巡检、维护、泄漏测试、培训、事故/未遂事件;定期提交安全报告。 1.专业背景:化工、机械、安全工程、过程装备等相关专业本科及以上学历。2.核心证书:压力容器操作证(R1/R2,根据系统最高压力确定)。危险化学品作业证(如涉及易燃易爆、有毒腐蚀性气体,需取得相应操作证,如氧化工艺、加氢工艺等,或危险化学品安全管理人员证)。特种设备安全管理人员证(A)(强烈推荐,负责管理压力容器/管道系统)。3.技能与经验:3年以上半导体厂、****点击查看实验室、化工厂或类似**求环境的特种气体/大宗气体/真空系统运维或安全管理经验。精通气体/真空系统原理、组件(阀门、调节器、管路、泵)、安全防护设施(洗眼器、排风罩、泄漏报警器、紧急切断阀)。熟练掌握气体泄漏检测、应急处置(如紧急关断、人员疏散、中和处理)流程。熟悉国内外相关安全标准(如NFPA,SEMI,中国压力容器/压力管道相关法规)。熟练使用相关检测仪器(检漏仪、压力测试设备)。良好的沟通协调能力和强烈的安全意识、责任心。优先考虑:持有注册安全工程师证书。有洁净室环境工作经验。 五、年度运维预算 5.1 预算构成 总预算 XX 万元(应标方负责),具体分配如下: 预算类别 涵盖内容 人员成本 运维人员的工资等 运维耗材与工具 1. 易耗品:过滤器(初效 / 中效)、润滑油、制冷剂、密封件、洁净室清洁剂(酒精、粘尘垫)、纯水耗材(滤芯、树脂)、灯具、小型阀门管件, 电气元件(保险、接触器触点等)等≤500元/件);2. 工具:手动 / 电动工具、测试仪器(万用表、风速仪、检漏仪)、安全防护用具(气体面具、防护服)、小型维修备件(≤500元/件)3. 实验室耗材:运维员工洁净服、手套、无尘布、记录纸等。 检测服务 1. 日常检测:每周洁净度测试(粒子计数器耗材 / 校准);2. 年度检测:压力表、安全阀、传感器校准;、电气设备预防性试验、高效过滤器 PAO 检漏;3. 专业维保:大型冷水机组、精密自控系统核心部件的深度维护或紧急技术支持服务合同(预算内分摊)。 其他服务 1.洁净间每日一次保洁,2.运维员工与实验人员洁净服每周换洗一次。 5.2 管理要求 1. 由厂务设备工程师负责预算总控与月度分解,定期(每月 / 季度)分析执行情况; 2. 建立《维修备件与耗材清单》,区分关键备件与常用耗材,设定最低库存量,妥善保管备件,建立台账。 3. ≤500 元耗材 / 工具采购由厂务设备工程师审批,>500 元按规定流程审批,保留采购凭证。 4. 定期(每月/季度)进行预算执行情况分析。 六、各系统维护保养方案 6.1 维护原则 遵循 “预防为主、养修并重”,按 “日常 - 周 - 月 - 年” 周期执行,所有工作记录存档(纸质 + 电子备份)。 1. 日常:运行状态记录(参数、报警)、目视检查(泄漏、异响、振动、指示灯)、基础清洁。 2. 每周:重点部位检查、功能性测试、数据趋势分析。 3. 月度:计划性维护保养(PM),包括清洁、润滑、紧固、校准(如适用)、更换简单耗材、性能测试。 4. 年度:全面检查、深度维护保养、关键部件更换或大修、系统性能综合评估与优化。部分需联****点击查看公司执行。 6.2 具体方案 系统 日常(每天) 周(每周) 月(每月) 年(每年) 1. HVAC 冷热源风冷模块机 (5台) 检查运行状态、进出水温度/压力、电流电压、异常报警;记录能耗。 检查冷凝器翅片清洁度(目视);检查风扇运行状况。 PM: 清洁/更换过滤器;检查制冷剂压力(视情况);检查电气连接紧固;检查压缩机噪音/振动;检查冷媒管路有无泄漏迹象。 深度维保: 彻底清洗冷凝器翅片;检查并紧固所有电气连接;检查压缩机润滑油位/油质(如需);系统检漏(如必要);反冲水系统,全面性能测试。 双管制冷热水模块机 检查运行模式、进出水温度/压力、电流电压、异常报警;记录能耗。 检查冷凝器翅片清洁度(目视);检查风扇运行状况。 PM: 清洁/更换过滤器;检查制冷剂压力(视情况);检查电气连接紧固;检查压缩机噪音/振动;检查冷媒管路有无泄漏迹象。 特别注意模式切换阀功能测试。 深度维保: 彻底清洗冷凝器翅片;检查并紧固所有电气连接;检查压缩机润滑油位/油质(如需);系统检漏(如必要);反冲水系统,全面性能测试。 恒温恒湿直膨式洁净空调机组(含氟系统) 1.冷媒系统监控:重点关注吸气压力、排气压力、过热度/过冷度(若有显示)、压缩机电流。记录并与历史数据对比。2.加湿器监控:关注加湿电流、进水流量/水压(若可测)、排水温度。吸气压力过低:可能缺冷媒、过滤器堵、蒸发器结冰。排气压力过高:可能冷凝器脏堵、风机故障、冷媒过多。电流异常波动:可能接触器打火、压缩机磨损。 1.冷媒管路初步检漏:用电子检漏仪快速扫描压缩机吸排气接口、阀门、焊点等高风险点。2.检查压缩机:听运行声音(均匀/异响)、摸振动(均匀/剧烈)、观察油镜油位/颜色(若可见)。电子检漏仪灵敏度需满足要求(如可检≤5g/年泄漏)。压缩机液击声(哗啦声)、金属摩擦声需立即停机检查。油色发黑或乳白表明系统有污染。 PM核心月(强化直膨机部分):1.深度冷媒检漏:对所有冷媒管路接口、阀门、焊点进行肥皂水泡沫法全覆盖检查。2.电气系统重点检查:压缩机:用红外热像仪检查接线端子温度(过热预警),检查接触器触点烧蚀情况。电加热器:检查各级加热管对地绝缘电阻(≥50MΩ)。3.清洁蒸发器翅片:使用专用翅片清洗剂和低压水枪(或压缩空气)顺翅片方向小心冲洗,严禁损伤翅片。4.检查电子膨胀阀(EXV)(若有):检查线圈固定、插头连接,听动作声音(哒哒声)。肥皂水检漏是金标准,微小气泡即为泄漏点!压缩机接线端子过热是火灾隐患!电加热器绝缘失效可导致触电!蒸发器脏堵是制冷量下降主因,清洁需彻底。EXV故障常导致系统振荡或制冷不良。5、清洗过滤器 深度维保(直膨机核心项目):1.冷媒系统健康检查:测量关键温度点:压缩机壳体温度、吸排气管温度、过冷/过热温度,评估系统效率。冷媒成分/酸度/水分检测(必要时):判断是否需回收再生或更换。压缩机绝缘电阻测试:(≥1MΩ)。2.更换核心部件:干燥过滤器(预防冰堵/脏堵)。压缩机启动电容(预防性更换)。3.控制系统深度维护:校准电子膨胀阀开度与控制信号对应关系。优化压缩机变频控制参数(若为变频机)。备份并验证控制程序。必须由持证(R410A等)且经验丰富的制冷工程师操作!冷媒检测可预判潜在故障。干燥过滤器是系统“肾脏”,必须定期更换。启动电容失效是压缩机烧毁常见诱因。控制参数优化可显著提升能效和稳定性。 冷却水系统 检查冷却水系统运行状态、补水情况、水温、水压、水质 检查水泵运行(声音、振动、电流、进出口压力)。检查水质(简单测试如PH值、电导率,如需) 检查水泵轴承润滑(如需);检查阀门状态;清洗过滤器 清洗系统管路(视水质情况);更换冷却水(如需要);水泵全面检查保养(轴承、密封);水处理系统全面检查维护;系统泄漏检查。 中温水干盘管系统 检查进出水温度/压力;检查有无泄漏; 检查水泵运行(声音、振动、电流、进出口压力)。检查/清洁冷凝水盘及排水管 检查盘管阀门及执行器;功能测试:清洗过滤器 彻底清洁翅片; 2.恒温恒湿自控系统 监控各区域温湿度、压差设定值与实际值;检查系统有无报警;检查传感器读数是否合理;记录关键参数。 检查主要执行器(阀门、风门)动作是否到位;检查传感器显示一致性(如多个传感器区域)。 PM:清洁传感器探头;检查控制器程序运行状态;检查通讯线路连接;备份系统配置与程序;模拟测试重要报警功能。 检查控制器程序运行状态;检查通讯线路连接;备份系统配置与程序;模拟测试重要报警功能。硬件状态;优化控制参数;系统软件备份与恢复测试。 3.弱电智能化 门禁监控系统检查门禁刷卡、开关门状态是否正常;检查监控画面是否清晰、覆盖无死角;检查录像存储状态。 测试门禁紧急开门功能;抽查监控录像回放。 PM:清洁摄像头镜头;检查读卡器、门磁、门锁状态;检查线路接头;清理存储空间;系统功能测试。 深度维保:全面检查线路;设备除尘;备用电源测试;系统固件升级(如必要);存储设备健康状况检查;全面功能与联动测试。 其他弱电(网络、电话) 检查网络连通性、电话功能。 检查网络连通性、电话功能。 PM:检查交换机指示灯状态;清洁设备表面灰尘;检查线路标签。 深度维保:设备除尘;检查备用链路(如适用);测试关键节点性能。 4.动力气体管道系统(安全员) 1.检查所有区域压力表读数。2.使用检漏仪/肥皂水对关键接头、阀门、设备进行泄漏巡检(重点:特气柜、VMB、使用点)。3.检查气体侦测报警系统状态及读数。4.检查气瓶/液罐储量及固定。5.检查排风罩运行。 1.对全部管道接口、阀门进行系统性泄漏复检。2.测试紧急切断阀(ESD)手动启动功能(非全系统)。3.检查管道标识、区域安全标识清晰完好。4.检查PPE及应急物资可用性。 PM:1.检查减压阀工作状态及输出压力稳定性。2.检查安全阀铅封完好。3.清洁管道、阀门表面。4.检查管道支架、吊架完好。5.演练气瓶更换SOP(如适用)。6.气体使用量统计与分析。(安全员主导,可能需外包) 深度维保:1.管道系统全面泄漏检测(高灵敏度仪器)。2.对关键管路进行保压测试度试验(按法规要求)。3.安全阀强制校验并铅封。4.压力表强制校验。5.减压阀全面检查/校准。6.检查管道内部腐蚀/污染(必要时内窥镜)。7.检查接地系统。8.气体纯度检测(如适用)。 厂务真空系统(安全员) 1.检查运行状态(声音、振动)、真空度。2.检查油位/油色(油封泵)、冷却水(水冷泵)。3.检查进气滤网。4.检查尾气排放处理装置 1.重点检查泵体、油气分离器、管路接头泄漏。2.检查皮带松紧度及磨损 PM:1.更换真空泵油(按厂家周期或油质)。2.清洁/更换进气滤芯。3.清洁冷凝器/冷却器(如配备)。4.检查排气过滤器状态。5.检查消音器。 深度维保:1.检查旋片/叶片、轴承磨损情况。2.更换密封件(轴封、管路密封)。3.彻底清洗泵腔、油路、油箱。4.检查电机绝缘、轴承。5.校准真空计。6.系统性能测试(极限真空、抽速)。7.检查维护尾气处理装置核心部件。 5.配电系统 检查配电柜指示灯状态、仪表读数(电压、电流、功率因数)、开关位置、温度(红外点温仪抽查);检查变压器温度、声音。 检查应急照明、疏散指示状态。 PM:清洁配电柜内部灰尘(断电,由电工操作);检查并紧固主要电气连接(断电或带电热像仪扫描);检查电容补偿柜运行;检查接地线连接。 深度维保:必须由有资质单位进行!设备预防性试验(绝缘电阻、接地电阻、继保测试、变压器油化等);全面清洁;开关机构检查;母排检查;出具试验报告。 6.实验室排风系统 检查风机运行状态(声音、电流)、风阀位置;检查排风效果(如烟雾测试法抽查罩口)。 检查风机运行状态(声音、电流)、风阀位置;检查排风效果(如烟雾测试法抽查罩口)。 PM:检查风机皮带松紧度及磨损(如适用);清洁风机叶轮(表面);检查排风管路固定;检查废气处理装置(如有)运行状态。 深度维保:清洁风机叶轮及蜗壳内部;检查风机轴承;检查排风管道内部腐蚀/堵塞情况(必要时内窥镜);检查防火阀功能;系统风量/压力测试(如必要);废气处理装置维护/更换耗材。 7.实验室纯水系统 检查产水水质(在线或离线仪表:电阻率/TOC);检查运行压力、流量;检查预处理罐状态;检查有无报警。 记录水质关键参数;检查耗材使用量(预估更换时间)。 PM:根据厂家指南更换预处理滤芯(砂滤、碳滤、软化树脂再生/更换);清洁RO膜壳表面;检查管路接头;检查消毒装置(如有)。 深度维保:更换RO膜(根据寿命和水质);更换后处理耗材(如EDI模块、精混床树脂、终端滤芯);彻底消毒系统;校准在线水质仪表;检查泵、阀门、仪表;系统性能测试(产水量、回收率、水质)。 8.洁净室环境 按SOP进行清洁。 使用粒子计数器按标准方法(ISO14644-1)在关键区域进行粒子浓度测试,记录并分析趋势。 分析月度洁净度数据趋势。 高效过滤器(HEPA/ULPA)完整性测试(PAO检漏)及更换(如必要);全面验证洁净室性能(风速、风量、压差、气流流型、自净时间)。 压差 检查并记录关键房间/区域压差。 复核压差。 检查压差传感器准确性(比对);调整风量平衡(如需)。 全面风量平衡测试与调整。 温湿度 监控并记录关键区域温湿度。 分析数据波动。 校准温湿度传感器(比对标准器)。 全面校准。 七、关键要求执行细则 7.1 24 小时运营与安全管理 1. 排班管理:制定详细轮班表,明确各时段值班人员姓名、联系方式、职责范围,确保无缝衔接; 2. 应急流程:建立 “故障上报 - 处置 - 记录 - 复盘” 流程,明确不同级别故障响应时间(一般故障≤2 小时响应,重大故障≤30 分钟响应); 3. 安全值班:值班人员需掌握紧急停机、气体泄漏疏散、消防应急等技能,确保实验室财产安全与人员安全。 4. 安全管理:制定全面的《实验室安全操作规程》,涵盖电气安全、机械安全、化学品安全(如适用)、气体安全、高处作业、密闭空间等。配备必要的个人防护用品(PPE)。定期进行安全培训和应急演练(如消防、气体泄漏、停电、设备故障应急处理)。 7.2 运行记录管理 1. 设计《设备运行日志表》,包含设备参数(温度、压力、电流)、报警信息、操作记录、异常情况等字段; 2. 记录频率:关键参数(如气体压力、洁净区温湿度)每小时 1 次,普通参数每 2 小时 1 次; 3. 审核机制:每日日志由当班人员填写,次日由厂务设备工程师审核,日志应妥善保存(纸质+电子备份),存档期限不少于服务期结束后 1 年。 4. 建立完善的运维文档库:设备手册、图纸、SOP、维护记录、运行日志、检测报告、培训记录、合同等。确保文档版本受控、易于检索。 5. 与厂商/维保方协作:明确设****点击查看公司的联系方式和服务协议。年度维保计划中需要外包的部分,应提前联系并纳入计划。 7.3 洁净度管理 1. 每周按《洁净度测试 SOP》执行测试,测试点位包含固定关键区域(如光刻区)与****点击查看实验室); 2. 测试方法依据 ISO14644-1 标准,使用符合精度要求的粒子计数器,记录粒子浓度数据; 3. 测试报告每周提交采购方审阅,异常趋势(如粒子浓度上升)需 24 小时内提出整改方案。 八、竞价响应材料要求 参选单位需按以下顺序整理材料,形成 1 个 PDF 文件上传,不符合要求者不予接收: 1. 报价单:需加盖单位公章,明确总报价; 2. 资质文件:营业执照扫描件、法人证书扫描件、法人授权书(含法人及销售人员身份证扫描件); 3. 服务方案:详细的运维服务方案; 4. 业绩证明:与本次需求相符的半导体厂务运维业绩文件、半导体设备业绩文件(合同关键页或验收报告); 5. 团队证明:运维团队成员证书(电工证、特种设备安全管理证书、危化品证)、社保证明(入场时需提供最新版本)。
服务网点:当地;电话支持:7x24小时;服务时限:报修后2小时;